日本理学ZSX PrimusIII+波长色散X射线荧光光谱仪在MLCC中的应用

在钛酸钡生产过程中，非常重要指标：钡钛摩尔比，简称钡钛比。钡钛比直接影响钛酸钡的四方度，进而影响钛酸钡的介电常数和绝缘电阻。对于高质量的钛酸钡粉体，钡钛比的控制精度要求较高，一般控制精度要求小于0.001。通常是用化学滴定法检测出BaTiO₃中BaO和TiO₂的含量，就可计算Ba/Ti的摩尔比。但化学滴定法的精确程度只有0.002左右，且操作人员和环境对误差的影响大，不能满足钛酸钡中Ba/Ti摩尔比的要求。也可借助仪器设备(如ICP-OES)精确测量Ba和Ti的元素含量，再计算Ba/Ti摩尔比。ICP测微量元素准确的测试设备，但需把样品制备成液体，前处理需稀释几百上千倍，这过程易操带来作误差，且费时费力，不能满足用户时效性。

X射线荧光光谱分析技术拥有高精密度、高准确性、制样简单、可一次性报出所需目标元素的结果，是解决以上难题的最佳选择，被越来越多的MLCC企业所采用。该方法的理论检测精度达到0.0001-0.0003，完全满足钛酸钡检测的要求。

日本电子材料工业协会标准规格（EMAS）对钛酸钡的Ba/Ti摩尔比标准如下：

EMAS-4202

采用玻璃熔片法进行钛酸钡的Ba/Ti摩尔比的荧光X射线分析法

EMAS-4203

采用压片法进行钛酸钡的Ba/Ti摩尔比的荧光X射线分析法

在EMAS行业标准制定中，共有15家钛酸钡生产厂家参与制定。其中，13家使用的是理学的设备对钛酸钡中Ba/Ti摩尔比检测，其检测精度都在千分之一以下，能满足企业对高质量的钛酸钡粉体中Ba/Ti摩尔比控制要求。

理学公司的X射线荧光光谱仪扫描道ZSX Primus III+对钛酸钡粉末质量管理，其钛钡比标准偏差（摩尔比）～10^-4。根据实测结果，ZSX Primus III+的精度在0.0002~0.0003。