德国蔡司扫描电镜的技术特点-华普通用

（1)样品制备简单

这是相对透射电镜而言的。在德国蔡司扫描电镜中，导电样品只要尺寸大小适于样品台安装，可以直接观察，不必进行特别制备。非导电样品通过表面镀导电膜层处理即可。近年可变压力扫描电镜（VPSEM）和环境扫描电镜（SEM）的发展、采用差分真空系统，使样品周围的真空度保持较低或可变，样品不论干湿，例如含水的动植物样品或绝缘体均可以直接观察，大大拓宽了扫描电镜的应用范围。

（2）综合分析能力强

德国蔡司扫描电镜可以安装多种附件，分别检测不同的信号，提供样品的相关信息。德国蔡司扫描电镜不单纯是微观放大系统，已经变成一台具有多种功能的分析仪器。能谱仪（EDS)和波谱仪（WDS）是最常用的附件，用于检测样品出射的特征X射线，提供材料化学成分的定性或定量分析结果。安装电子背散射衍射系统（EBSD)，检测样品出射的背散射电子，用于表征晶体样品的结晶学特性。利用样品拉伸台，对材料施加应力，可以在拉伸过程中观察材料动态应变特性，这是研究金属和高分子材料的一种必要手段。

(3)操作容易

现代德国蔡司扫描电镜均由计算机控制，自动化程度高，各种操作参数和条件均保持在最佳值，使用者只要通过初步训练即可以很快上手，利用鼠标操作各种功能。图像或成分检测均提供数字化结果，存入光盘或闪盘中，可以在任何一台计算机上使用各种图像软件进行处理。这也是扫描电镜使用越来越普遍的原因之一。为现代场发射扫描电镜和能谱仪，为现代常规扫描电镜。