能量色散X射线荧光光谱仪探测器简介

这里仅就Si(Li)半导体探测器、Si-PIN半导体探测器、Hgl2探测器和封闭式正比计数管和闪烁计数管在能量色散X射线荧光光谱仪中的应用作简单说明。

探测器的分辨率是评价能量色散X射线荧光光谱仪性能的主要指标之一，通常给出的分辨率是用55Fe放射性核素源的MnKa的半高宽值表示，即用右侧半高宽能量值减去左侧半高宽能量值后的差值表示。

探测器对不同X射线能量的分辨率是不一样的，使用者了解这一点很重要。在下图展示了用Nal晶体的闪烁计数管、封闭式正比计数管和半导体探测器接受不同X射线能量时的分辨率，以半高宽(FWHM)能量表示。

Si(Li)半导体探测器的能量分辨率为相邻元素Ka线能量差的U2～1/4，因此相邻元素Ka线可以清楚地分开。正比计数管的分辨率小于相邻元素Ka线能量差的两倍，相邻元素的Ka线虽不能完全分开，但为分析相邻元素提供了可能性。闪烁计数管的分辨率太差，若要分析相邻元素，只能借助于滤光片的选择。对此，下图有很好的展示。

探测器的探测效率与X射线能量有关，闪烁计数管和硅或锗的固体探测器测量X射线能量范围为1～150kev,对于低能端X射线，探测效率由于探测器窗口材料铍片的吸收而降低。在X射线的高能区，探测效率大体上与探测器灵敏区体积内原子数目有关，由原子序数高的和密度大的材料制成的探测器，探测效率最大。如能量在40kev以上的X射线用Ge探测器优于用Si探测器。

德国斯派克分析仪器公司能量色散X射线荧光光谱仪：www.hpge.com.cn/guangpufenxiyi